净化是关键

  我们来看一下电子级氯化氢的净化是关键的。

  在续批量生产应用于单晶硅外延片制造的5N(99.999%)电子级(VLSI)氯化氢，以及应用于医药中间体、农药及精细化学品制造的2.8N(99.8%)化学级氯化氢。产品性能先进，质量稳定，处于国内领先地位，达到国际先进水平。钢瓶装电子级氯化氢产品分别经国家标准物质研究中心和信息产业部专用材料质量监督检验中心抽样检验，纯度大于99.999%，总杂质含量小于5ppm，符合国家标准GB/T24469-2009。

在氯化氢广泛应用于半导体是、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子级氯化氢的纯度提出了越来越高的要求，电子级氯化氢的的净化愈加关键和重要。目前国内的超高纯度净化技术主要依赖进口，自身的技术水准（6N）与国际先进水平(8-9N)有较大差距。本项目将设计和研发一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新型纳米净化剂，对MO源、惰性气体、氢化物气体、反应性气体、腐蚀性气体等5个系列，50多种电子特气进行末端净化，使电子特气纯度由ppm级提高到ppb、ppt级，并将氯化氢传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小，从而极大地改善工艺能力，降低产品缺陷， 提高制程的产量，满足下一代半导体、微电子以及相关高技术发展的需要。本项目将形成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技术，解决超高纯度电子特气净化这一核心技术的国产化问题。

    看完了希望能给大家带来帮助！