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电子工业对氯化氢的新要求

返回  打印  发布时间:2013-11-5 点击:8327

    现在电子行业也成为一个热门的行业,正向着高集成化、高完整性发展。电子行业的制造需要氯化氢的参与,因为电子行业的要求提高了,所以氯化氢的使用要求也提高了,我们一起来看一下电子行业对氯化氢的新要求。

    电子级氯化氢是指纯度高于99.999%的高纯度氯化氢气体。除了对纯度要求较高以外,对氯化氢气体的品质要求也非常严格。

    随着微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展,对广泛用于单晶硅气相抛光和外延机座腐蚀的电子级氯化氢也有了新的要求。除了应具有99.999%以上的纯度,还要求氯化氢的THC、H2O和金属离子等有机杂质的含量越低越好。
    电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀,清除钠离子。另外高纯氯化氢也用于金属表面化学处理,激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理。过去我国大多从美、日等国进口电子级氯化氢,但近年来,我国电子工业所需的化学气体的研制,在技术上已有不少突破和发展。

    从以上介绍来看我们电子所需的气体在近几年已经有了很大的发展,同时北京华宇同方在很大程度上填补了电子级氯化氢的空白。言赫特气直属于北京华宇同方,所以我们的质量您绝度放心,是您值得信赖的一家公司。

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