氯化氢改良西门子法—闭环式三氯氢硅氢还原法

返回打印发布时间：2013-2-2 点击：8469

改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢（或外购氯化氢），氯化氢和产业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。

国内外现有的多晶硅厂尽大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。